特許
J-GLOBAL ID：200903009902084064

テーブルリフタおよび基板処理装置

発明者：
河村 隆

河村 隆 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-077444
公開番号（公開出願番号）：特開2009-227434
出願日： 2008年03月25日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】初期動作における推力軽減を図ると共に自由落下を有効に防止するテーブルリフタを提供する。【解決手段】互いに枢支されたアーム部材18,19を有するパンタグラフ機構4の伸縮動作により昇降操作される載置テーブル3と、アーム部材19を押し上げることによりパンタグラフ機構4の初期伸張動作を行うカム駆動機構と、カム駆動機構による初期伸張動作に続いてパンタグラフ機構4の一方の支点部21を他方の支点部27に向けて移動させパンタグラフ機構4の伸張動作を行うパンタグラフ伸縮操作機構とを備える。パンタグラフ伸縮操作機構の動作を停止させる自由落下防止装置39を備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
互いに枢支されたアーム部材を有するパンタグラフ機構の伸縮動作により昇降操作される載置テーブルと、前記アーム部材を押し上げることにより前記パンタグラフ機構の初期伸張動作を行うカム駆動機構と、該カム駆動機構による前記初期伸張動作に続いて前記パンタグラフ機構の一方の支点部を他方の支点部に向けて移動させパンタグラフ機構の伸張動作を行うパンタグラフ伸縮操作機構とを備えたテーブルリフタにおいて、 前記パンタグラフ伸縮操作機構の動作を停止させる自由落下防止装置が備えられていることを特徴とするテーブルリフタ。
IPC (3件)：
B66F 7/06 ,  H01L 21/26 ,  B66F 17/00
FI (3件)：
B66F7/06 F ,  H01L21/26 J ,  B66F17/00 F
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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