回折光学素子の製造方法及び製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287911
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109117
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】高い回折効率で所望の分光特性を有する回折光学素子を得る【解決手段】レーザー発振器1からArFレーザービームが発光し、ビーム整形機構3において必要なビーム形状とビームの強度分布が均一に整形され、マスク4の正三角形の部分を通過した後に、縮小光学系5において1/8に縮小投影され、回転中の被加工物S上に、マスク4と相似形の正三角形の像が結像する。ここで、被加工物S上のエネルギ密度が2J/cm2 となるようにビームを絞り、照射面における被加工物の回転速度を2.5mm/sに設定し、100Hzでパルスを発生して加工すると、格子の高さが1023nmの鋸歯状の同心円の形状を得ることができ、マスクの形状やレーザービームの出力を変えて上述の加工を繰り返すことにより、鋸歯形状の回折光学素子8を作成することができる。

請求項（抜粋）：

被加工物の目的パターンに応じたパターンを有するマスクと前記被加工物とを光軸上に並べ、前記マスクのパターンを通して前記被加工物にエキシマレーザービームを照射し、同時に前記被加工物を回転することにより、鋸歯状又は階段状又はキノフォーム状の表面形状を得ることを特徴とする回折光学素子の製造方法。

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