圧電膜型素子構造体と液体噴射ヘッドおよびそれらの製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-115801
公開番号（公開出願番号）：特開2003-309302
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】非鉛系単結晶体を用いて、特性ばらつきを抑制した良好な圧電特性を有し、高密度でかつ長尺の圧電膜型素子構造体や液体噴射ヘッドを作製する。【解決手段】非鉛系単結晶体のバルク体1を圧電特性が大きくなる結晶方位に合わせてスライスカットして薄膜化した単結晶薄膜2を基板3に接合して、基板3上で単結晶薄膜2を研磨およびパターニングして単結晶圧電膜4を形成する。そして、単結晶圧電膜4に振動板5を接合し、その後に、基板3を剥離除去して、非鉛系単結晶圧電膜4を用いた圧電膜型素子構造体を作製する。このように非鉛系単結晶体を所定の方位に沿ってスライスカットすることにより、PZT以上の優れた圧電特性を有効に利用でき、さらに、単結晶体のサイズに限定されることなく高密度でかつ長尺で環境問題のない液体噴射ヘッドを作製することができる。

請求項（抜粋）：

圧電膜と振動板を有する圧電膜型素子構造体の製造方法において、単結晶膜からなる圧電膜を基板に接合する工程と、基板に接合された単結晶圧電膜を振動板に接合する工程と、基板を単結晶圧電膜から剥離する工程を含むことを特徴とする圧電膜型素子構造体の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (5件)：

H01L 41/22 Z , H01L 41/18 101 A , H01L 41/08 C , B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

Fターム (13件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP21 , 2C057AP22 , 2C057AP27 , 2C057AP31 , 2C057AP52 , 2C057AQ02 , 2C057AQ06

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