特許

J-GLOBAL ID：200903009916887941

紫外線によるシール材硬化装置

発明者： 片保 秀明 ,  油田 国夫
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127423
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304836
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 上基板と下基板とを貼り合わせた状態で、紫外線をシール材の部位のみに照射することによって、配向膜に紫外線による影響を最小限に抑制した状態で両基板を貼り合わせ固着する。【構成】 上側吸着機構20は、昇降軸21の下端部にはホルダ22が連設され、このホルダ22にはマスク板23及び導光用ガラス24が保持され、吸着プレート25が負圧室27を形成するようにホルダ22に着脱可能に取り付けられる。マスク板23の導光用ガラス24への対向面及び導光用ガラス24の外周面には鏡面反射膜30,31が設けられ、また導光用ガラス24には、CF基板2を吸着保持した時に、シール材3が位置する部位が透光部32となり、それ以外は紫外線及びその熱を遮断する機能を有するマスク膜33が形成されている。

請求項（抜粋）：

透明な部材からなる上基板を真空吸着手段で吸着させて、この上基板を紫外線硬化型のシール材を介して下基板に接合させて、シール材に紫外線を照射することによりシール材を硬化するためのものにおいて、前記上基板を真空吸着する真空吸着手段を透明板で形成した導光用ガラスと、複数の吸着孔を備えた吸着プレートとを有し、これら導光用ガラスと吸着プレートとの間に負圧室を形成し、導光用ガラスには、その負圧室に臨む面以外に反射面を設けると共に、この導光用ガラスに受光面を形成して、この受光面に紫外光を導く紫外線照射部を対向配設し、また吸着プレートの負圧室に臨む面にはシール材を設けた部位に透光部となし、それ以外の部位をマスクする反射面を設ける構成としたことを特徴とする紫外線によるシール材硬化装置。