特許

J-GLOBAL ID：200903009918017030

赤外固体撮像素子

発明者： 油谷 直毅
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290825
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102450
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 撮像素子の、ショットキ接合を用いた検出器の容量を増大させる。【構成】 ショットキバリア赤外検出器21のガードリング3をN+ 不純物層で形成し、ガードリング3のN+ 層の周辺(外側側面及び底面)にN+ 層に接するようにP+ 不純物導入層13を形成する。なお、P+ 不純物層13はガードリング3の周辺だけでなくショットキ接合の下にも形成してもよく、これによりショットキ接合の光検出器の容量が増大し、検出器の最大電荷蓄積能力が向上し、素子のダイナミックレンジが向上し、出力の飽和が起こりにくくなる。

請求項（抜粋）：

P形またはN形半導体と金属もしくは金属硅化物の金属薄膜電極より形成されるショットキバリアダイオードよりなる赤外検出器が1次元もしくは2次元にアレイ状に配置され、赤外線によって該赤外検出器に生成される光電流を蓄積し、光信号を読み出す機構を備えた赤外固体撮像素子において、上記ショットキバリアダイオードの金属薄膜電極の周囲にN+ またはP+ 不純物導入層であるガードリングが形成されており、該ガードリングのN+ またはP+ 層には接するが、少なくとも該金属薄膜電極には接しないようにP+ またはN+不純物導入層が形成されていることを特徴とする赤外固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/108 ,  H04N 5/33

FI (2件)：

H01L 27/14 K ,  H01L 31/10 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-064363
  
• 特開昭63-186467
  
• 特開平2-005476