特許
J-GLOBAL ID：200903009920869869
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋川 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131367
公開番号（公開出願番号）：特開平7-314376
出願日： 1994年05月20日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【目的】フログレッグ型ウェハ搬送用ロボットにおいて、ウェハ截置板の蛇行や横揺れを防止し、ウェハのカセットの出し入れ時に、ウェハの位置ずれや落下を防止する。【構成】モータ16によって回転される第1螺軸10と、第1螺軸10とねじ方向が逆であって第1螺軸10と平行に配置された第2螺軸11とを設けるようにし、両螺軸10,11にそれぞれナット12,13を螺合させて、前記ナット12,13をナットハウジング14によって連結した。第1螺軸10の端部および第2螺軸11の端部には、第1の一対のリンク1,2の一端をそれぞれ固定し、第1の一対のリンク1,2の他端を第2の一対のリンク3,4の一端に回転自在にそれぞれ連結し、第2の一対のリンク3,4の他端にウェハWを截置するウェハ截置板8を取り付けた。そして、第2の一対のリンクのうちいずれか一方のリンク4の姿勢を規定するパンタグラク機構(リンク5,6,7)を設けるようにした。
請求項（抜粋）：
モータによって回転される第1螺軸と、第1螺軸とねじ方向が逆であって第1螺軸と平行に配置された第2螺軸とを備え、前記両螺軸にそれぞれナットを螺合させて、前記ナットをナットハウジングによって連結し、第1螺軸の端部および第2螺軸の端部に、第1の一対のリンクの一端をそれぞれ固定し、第1の一対のリンクの他端を第2の一対のリンクの一端に回転自在にそれぞれ連結し、第2の一対のリンクの他端にウェハを截置するウェハ截置板を取り付けるとともに、前記第2の一対のリンクのいずれか一方のリンクの姿勢を規定するパンタグラク機構を設けたことを特徴とする搬送装置。
IPC (2件)：
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