特許

J-GLOBAL ID：200903009924606188

透明ガスバリヤフィルムの製造方法

発明者： 吉田 重信 ,  大橋 慎一 ,  久保田 哲哉
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276074
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128725
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：

【要約】【目的】透明樹脂フィルムの表面に形成されるケイ素酸化物薄膜層の組成および厚みが均一で、高度のガスバリヤ性を有し着色斑のない透明ガスバリヤフィルムの製造方法を提供する。【構成】基体フィルムにケイ素酸化物薄膜層を形成させる際、特定の減圧条件下に保ち、薄膜層を形成したフィルムの紫外線透過率を連続的に測定しこれを指標に、前記紫外線透過率が常に一定になるように蒸着源の温度を外部より調節する。【効果】全面に亘ってケイ素酸化物薄膜層の膜厚およびケイ素酸化物の組成が均一で、ガスバリヤ性もまた一様な製品が製造できる。

請求項（抜粋）：

ケイ素酸化物を蒸着源とする巻取り式薄膜形成法により、連続的に走行する広幅かつ長尺な透明樹脂フィルムの表面にケイ素酸化物薄膜層を形成させる透明ガスバリヤフィルムの製造方法において、(a)ケイ素酸化物薄膜層の形成を1×10-5 〜 1×10-3 Torr の範囲の一定の圧力に制御された雰囲気下で行い、(b)ケイ素酸化物薄膜層を形成させた透明ガスバリヤフィルムの紫外線透過率を連続的に測定しつつ、この紫外線透過率が一定になるように蒸着源の温度を外部より調節する方法であって、(c)薄膜層形成雰囲気は、酸素もしくは水蒸気の導入と排気ポンプによる排気とにより制御し、(d)前記紫外線透過率は、ケイ素酸化物薄膜層を形成させた透明ガスバリヤフィルムの幅方向の複数の箇所に、フィルムに対面して対向配置して設けられた複数対の投光部と受光部とを含む紫外線透過率測定装置により、フイルムの走行方向および幅方向に関し連続的に測定する、ことを特徴とする透明ガスバリヤフィルムの製造方法。