特許

J-GLOBAL ID：200903009930858768

湿式フィルム積層シート及びこれを用いてなる研磨パッド

発明者： 片山 浩二
出願人/特許権者： 東レコーテックス株式会社
代理人 (2件)： 蔦田 璋子 ,  蔦田 正人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-188539
公開番号（公開出願番号）：特開2004-027126
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】ポリエステルフィルム状にウレタン多孔質層を積層させた積層フィルムであって、ウレタンフィルムをポリエステルフィルムから一旦剥離して、別のポリエステルフィルムに貼付するという工程を経ずに得られ、高い表面精度が実現できる湿式フィルム積層シート、及びこれを用いてなる研磨パッドを提供する。【解決手段】酸成分の70モル%以上がテレフタル酸及び/又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの少なくとも片面に、二次転移点が20〜150°Cのポリエステル樹脂99〜80重量%と平均粒径0.01〜0.1μmの微粒子1〜20重量%とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが0.005〜0.03μmとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られる塗膜の摩擦係数が0.42〜0.44であるポリエステルフィルムの前記塗液塗布面に、湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成させることにより湿式フィルム積層シートを形成する。

請求項（抜粋）：

酸成分の70モル%以上がテレフタル酸及び/又はナフタレンジカルボン酸からなるポリエステルの縦延伸フィルムの少なくとも片面に、二次転移点が20〜150°Cのポリエステル樹脂99〜80重量%と平均粒径0.01〜0.1μmの微粒子1〜20重量%とを含む易接着水性塗液を最終的塗膜厚みが0.005〜0.03μmとなる量塗布し、次いで乾燥及び横方向の延伸を施し、更に縦方向へ再延伸し、要すれば横方向の再延伸を行い、しかる後熱固定を施すことにより得られる塗膜の摩擦係数が0.42〜0.44であるポリエステルフィルムの前記塗液塗布面に、湿式凝固法によりウレタン多孔質層を形成させてなる、湿式フィルム積層シート。

IPC (6件)：

C08J7/04 ,  B24D11/00 ,  B32B5/18 ,  B32B27/36 ,  C08J5/14 ,  H01L21/304

FI (6件)：

C08J7/04 Z ,  B24D11/00 B ,  B32B5/18 ,  B32B27/36 ,  C08J5/14 ,  H01L21/304 622F

Fターム (49件)：

3C063AA03 ,  3C063BB01 ,  3C063BB03 ,  3C063BB07 ,  3C063BC03 ,  3C063BG01 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063EE01 ,  3C063EE10 ,  3C063EE16 ,  3C063FF23 ,  4F006AA35 ,  4F006AB35 ,  4F006AB37 ,  4F006AB56 ,  4F006AB72 ,  4F006AB74 ,  4F006AB76 ,  4F006BA02 ,  4F006CA08 ,  4F006DA04 ,  4F006EA06 ,  4F071AA43 ,  4F071AA45 ,  4F071AA46 ,  4F071AD03 ,  4F071AD06 ,  4F071AE01 ,  4F071AF28 ,  4F071AG25 ,  4F071AG36 ,  4F071AH19 ,  4F071DA17 ,  4F071DA20 ,  4F100AK41B ,  4F100AK42A ,  4F100AK51C ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100DE01B ,  4F100DE01H ,  4F100DJ00C ,  4F100EH462 ,  4F100EH902 ,  4F100EJ37A ,  4F100GB90 ,  4F100JK16B ,  4F100YY00B