特許
J-GLOBAL ID：200903009938685870
薄膜測定器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340869
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 光学薄膜や半導体等の薄膜の膜厚や複素屈折率を求める手段を提供する。【構成】 照明用の光源と、輪帯開口を有する絞りとピンホールとを備えた照明光学系と、この照明光学系からの光束を測定試料に投影する対物光学系と、測定試料に投影された光束の反射光を受光する受光面を有する分光装置とから構成され、輪帯開口の大きさを任意に変化させることにより、異なる複数の入射角度に対する分光反射率と分光透過率を測定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
照明用の光源と、輪帯開口を有する絞りとピンホールとを有する照明光学系と、上記照明光学系からの光束を測定試料に投影する対物光学系と、上記測定試料に投影された光束の反射光を受光する受光面を有する分光装置とから構成され、上記輪帯開口の大きさを任意に変化させることによって、異なる複数の入射角度に対する分光反射率並びに分光透過率を測定することを特徴とする薄膜測定器。
IPC (3件)：
G01N 21/27
, G01J 3/02
, G01J 3/42
