特許
J-GLOBAL ID：200903009941172787
ウエハボート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-183272
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016992
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 エッチング処理を繰り返し行っても、がたつきが生じ難い構成の組立型のウエハボートを提供する。【解決手段】 ポール組立用穴19を持つプレート11と、ウエハ載置用溝13を持つポール12とを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートにおいて、固定部材16に回転軸18を設けてプレート11に回転可能に配置するようにし、固定部材16がプレート面に対して傾斜した支持部17を有し、ポール12が固定部材16の支持部17と協働する係合部22を有しており、固定部材16を回転させてその支持部17をポール12の係合部22に係合させ、ポール12とプレート11を固定関係に組み立てることを特徴とするウエハボート。
請求項（抜粋）：
ポール組立用穴(19)を持つプレート(11)と、ウエハ載置用溝(13)を持つポール(12)とを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートにおいて、固定部材(16)に回転軸(18)を設けてプレート(11)に回転可能に配置するようにし、固定部材(16)がプレート面に対して傾斜した支持部(17)を有し、ポール(12)が固定部材(16)の支持部(17)と協働する係合部(22)を有しており、固定部材(16)を回転させてその支持部(17)をポール(12)の係合部(22)に係合させ、ポール(12)とプレート(11)を固定関係に組み立てることを特徴とするウエハボート。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511
H01L 21/68 N
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511 G
