特許
J-GLOBAL ID：200903009942663466
振動式トランスデューサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-268178
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111195
出願日： 1996年10月09日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 ポリシリコンよりなる振動梁に初期張力を付与し、振動梁に圧縮が加わった場合にも座屈を確実に防止し得る振動式トランスデューサとその製造方法を提供するにある。【解決手段】 両端が基板に固定された振動梁の共振周波数を測定する事により該振動梁の両端に加えられた歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、リンの高濃度ドープにより所定の初期張力が得られるようにリンガラスが成膜された後加熱された窒素中でドライブインされた後前記リンガラスが除去されてなるポリシリコンよりなる振動梁を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサである。
請求項（抜粋）：
両端が基板に固定された振動梁の共振周波数を測定する事により該振動梁の両端に加えられた歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、リンの高濃度ドープにより所定の初期張力が得られるようにリンガラスが成膜された後加熱された窒素中でドライブインされた後前記リンガラスが除去されてランプアニーリングによる高速アニーリングがされてなるポリシリコンよりなる振動梁を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。
IPC (5件)：
G01L 9/00
, G01H 11/00
, G01L 1/10
, H01L 29/84
, H01L 21/225
G01L 9/00 C
, G01H 11/00
, G01L 1/10 A
, H01L 29/84 Z
, H01L 21/225 Q
