特許
J-GLOBAL ID:200903009947766360

連続処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 逢坂 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-034237
公開番号(公開出願番号):特開平5-203365
出願日: 1992年01月23日
公開日(公表日): 1993年08月10日
要約:
【要約】本発明は、板状の被処理物を加熱処理するための、多層の処理室を縦列に配した炉を上下動及び180 度回転させて、所要の処理を行いながら被処理物の横送りを行い、発塵要因のない雰囲気中で行う連続熱処理装置である。【構成】 本発明は、板状被処理物用の加熱処理炉において、第1炉1-1及び第2炉1-2の2つの炉を背中合せに配して、これを上下動及び回転する軸6により被処理物を横送りする連続熱処理装置に係る。【効果】 炉内に発塵の要因がなく、極めて清浄な雰囲気が保持でき、設備の占有面積が少い。
請求項(抜粋):
処理手段を具備する仕切り壁によって複数の処理室が互に重なるように設けられた第一及び第二の処理室群と、前記の各処理室内で被処理物を載置する載置部材と、前記第一及び第二の処理室群を互に位置交換可能にかつ上下動可能に取付けた回転軸と、前記第一及び第二の処理室群の同じ高さに位置する1対の処理室のうちの一方の処理室に未処理の被処理物を搬入する被処理物搬入手段と、前記第一及び第二の処理室群の同じ高さに位置する1対の処理室のうちの他方の処理室から処理済みの被処理物を搬出する被処理物搬出手段とを有し、前記被処理物搬入手段によって未処理の被処理物が前記第一又は第二の処理室群の各処理室に順次搬入され、前記被処理物搬出手段によって処理済みの被処理物が前記第二又は第一の処理室群の各処理室から順次搬出されるように構成された連続処理装置。
IPC (2件):
F27B 9/24 ,  H01L 21/324

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