特許
J-GLOBAL ID：200903009949469193
プローブシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240002
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069295
出願日： 1992年08月17日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 プローブ装置を小型化し、省スペース化を図ること。【構成】 搬送機構4が搬送するためのエンドレスの搬送路40に沿って、ロード用ストッカ21及びアンロード用ストッカ22と、複数のプローブ装置3と、リペア装置R及びマーキング装置Mとを配置する。ストッカ21、22に対向して、当該ストッカ21、22と搬送機構4との間のウエハの受け渡しを行う第1の受け渡し機構5を設けると共に、各装置3、R、M毎に、搬送機構4との間のウエハの受け渡しを行う第2の受け渡し機構6を設ける。搬送機構4には例えば25枚のウエハを搬送できるようにキャリアCが搭載される。ロード用ストッカ21内のウエハが搬送機構4によりプローブ装置3にロードされ、測定後のウエハは搬送機構4によりアンロード用ストッカ22内に戻される。
請求項（抜粋）：
被検査体を収納する被検査体収納部と、被検査体を測定するためのプローブ装置と、被検査体を前記プローブ装置の測定前及び/または測定後に処理するための処理装置とを、各々搬送路に沿って配置し、前記搬送路に沿って被検査体を搬送する搬送機構と、前記被検査体収納部と搬送機構との間で被検査体の受け渡しをするための第1の受け渡し機構と、前記プローブ装置及び処理装置の各装置と前記搬送機構との間で被検査体の受け渡しをするための第2の受け渡し機構と、を備えてなることを特徴とするプローブシステム。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, B65G 47/90
, B65G 49/07
, G01R 31/26
, H01L 21/68
