特許

J-GLOBAL ID：200903009952116013

干渉計及び該干渉計で製造された高精度投影レンズ

発明者： 玄間 隆志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-276733
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083846
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】光源の可干渉距離が短い場合でも、容易に高コントラストな干渉縞を得ることができる干渉計及び該干渉計で製造された高精度投影レンズを提供する。【解決手段】所定の可干渉距離を有する光源1と、前記光源1からの光のうち、被検光学系9を透過した測定光と、参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出部12と、前記干渉縞に基づいて前記被検光学系9の波面収差を算出する演算部13と、前記測定光の光路長と前記参照光の光路長との差を、前記光源1の前記可干渉距離以内とする光路長補正部Hとを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定の可干渉距離を有する光源と、前記光源からの光のうち、被検光学系を透過した測定光と、参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出部と、前記干渉縞に基づいて前記被検光学系の波面収差を算出する演算部と、前記測定光の光路長と前記参照光の光路長との差を、前記光源の前記可干渉距離以内とする光路長補正部とを有することを特徴とする干渉計。

IPC (3件)：

G01M 11/02 ,  G01B 9/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01M 11/02 B ,  G01B 9/02 ,  H01L 21/30 516 A

Fターム (20件)：

2F064AA00 ,  2F064CC02 ,  2F064CC05 ,  2F064EE02 ,  2F064EE04 ,  2F064EE05 ,  2F064GG00 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG41 ,  2F064HH08 ,  2G086HH06 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DB14