基体に被膜を被覆する方法およびその方法に用いるスパッタリング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222577
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049428
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】スパッタリング法により、平板状の基体の表裏両面に、あるいは嵩張った基体の表面全体に被膜を被覆するには、基体の回転機構を有する装置で行っていたので、装置の回転機構を必要とし、そのため装置の構造、機構が複雑になるという課題があった。またこれにより、真空リークが回転機構から生じるという課題があった。【解決手段】減圧した雰囲気が調整できる成膜室内に2個のスパッタリングカソードを一組とする被覆用カソードを一組以上配置し、各組の被覆用カソードのうちの一方のカソードを陰極とするときはその組の他方のカソードを陽極に、各組の他方のカソードを陰極とするときはその組の一方のカソードを陽極になるように、それらの極性を交互に反転させて電圧を印加し、それにより生起させたグロー放電により被覆用カソードに設置したターゲットをスパッタリングして、ターゲット材料を成分として含む被膜を、各組の被覆用カソードに貼りつけたターゲットのほぼ前方に配置した基体に被覆する。

請求項（抜粋）：

減圧した雰囲気が調整できる成膜室内に2個のスパッタリングカソードを一組とする被覆用カソードを一組以上配置し、前記一組の被覆用カソードについて、一方のカソードを陰極とするときは他方のカソードを陽極に、他方のカソードを陰極とするときは一方のカソードを陽極になるようにそれらの極性を交互に反転させて電圧を印加し、前記一組の被覆用カソードの2つのスパッタリングカソード間で生起させたグロー放電により、前記被覆用カソードに貼りつけたターゲットをスパッタリングして、前記ターゲット材料を含む被膜を、前記被覆用カソードに貼りつけたターゲットの略前方に配置した基体に被膜を被覆する方法。

Fターム (4件)：

4K029CA05 , 4K029DC16 , 4K029DC32 , 4K029EA09

前のページに戻る