特許
J-GLOBAL ID：200903009952816872
セラミックス超格子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉持 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025332
公開番号（公開出願番号）：特開平5-221800
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 セラミックス超格子のナノメータ・スケールの設計を可能にする技術即ち、セラミックス超格子の周期を、分子層オーダーで正確に制御して、作成したセラミックス超格子及びその製造方法を提供することを目的とする。更に、本発明は、酸化物セラミックス薄膜の物性を、物質固有のものから拡大できる、新規なデバイスに応用できる超格子構造材料を提供する。【構成】少なくとも2種類の酸化物セラミックスを積層させたセラミックス超格子において、前記酸化物セラミックスが、ペロブスカイト型結晶であり、且つ互いに結晶方位を一定の関係に保って基板上に成長しており、該ペロブスカイト型結晶の層の成長厚さは、該ペロブスカイト型結晶の単位格子長を、成長単位として、その整数倍となるようにしたことを特徴とするセラミックス超格子である。少なくとも2種類の酸化物セラミックスを、反射高速電子線回折(RHEED)の強度振動数を数えながら、各酸化物層の層数を調整して、順次積層することにより作製したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも2種類の酸化物セラミックスを積層させたセラミックス超格子において、前記酸化物セラミックスが、ペロブスカイト型結晶であり、且つ互いに一定の結晶方位の関係を保って基板上に成長しており、該ペロブスカイト型結晶の層の成長厚さを、該ペロブスカイト型結晶の単位格子長を成長単位として、その整数倍となるようにしたことを特徴とする前記セラミックス超格子。
IPC (3件)：
C30B 29/68
, C30B 29/30
, C30B 29/32
