特許
J-GLOBAL ID：200903009958900930
金属薄板の洗浄方法および洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-293441
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106971
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 金属薄板の表面から油分がほぼ完全に除去されて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残留することがなくなるような洗浄方法を提供する。【解決手段】 金属薄板1の主面に付着した油分を除去する工程で、金属薄板が浸漬させられる脱脂槽10内の脱脂液14中の油分濃度を2,000ppm以下に維持させる。
請求項（抜粋）：
金属薄板の主面に水溶性の感光性レジストを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板を脱脂液中に浸漬させて、金属薄板の主面に付着した油分を除去する金属薄板の洗浄方法において、前記脱脂液中の油分濃度を2,000ppm以下に維持させることを特徴とする金属薄板の洗浄方法。
IPC (5件)：
C23G 1/19
, B05D 1/18
, B05D 3/10
, C23F 1/00 101
, H01J 9/14
C23G 1/19
, B05D 1/18
, B05D 3/10 F
, C23F 1/00 101
, H01J 9/14 G
, H01J 9/14 H
