特許
J-GLOBAL ID：200903009963241073
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258310
公開番号（公開出願番号）：特開2001-080082
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：
【要約】【課題】 圧電素子と、振動板および液室との位置合わせ精度の高いインクジェットヘッドを安価に、かつ生産性良く提供する。【解決手段】 圧電素子4と振動板8とをダイアフラム7を介して接合させた後、ノズルに対応した溝16を圧電素子4に形成する。発明の実施の形態を製造工程順に説明すると、ポリイミド樹脂製の振動板の片面側にダイヤフラムを接着し、振動板の外周部にフレーム接合部5aを形成する。振動板の反対面側にノズルプレートを接着した後、ダイヤフラムの表面に圧電素子を接着する。圧電素子側からダイシングにより溝16を形成することで圧電素子、ダイヤフラムそれぞれについて分割加工を行う。フレーム5をフレーム接合部5aに接着した後、圧電素子およびフレームの表面全面にわたって平面研削を行う。圧電素子に基板1を接着し、圧電素子の両端から個別電極および共通電極を取り出す。
請求項（抜粋）：
加圧液室を構成する振動板上にダイアフラムを備え、圧電素子の体積変化により振動板を変形させてインクを吐出するインクジェットヘッドを製造する方法において、圧電素子と振動板とをダイアフラムを介して接合させた後、ノズルに対応した溝を圧電素子に形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 D
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057AP02
, 2C057AP11
, 2C057AP14
, 2C057AP22
, 2C057AP25
, 2C057AQ03
, 2C057BA04
, 2C057BA14
