特許
J-GLOBAL ID：200903009974441490
撮像素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097402
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、センサ部に入射する入射光の集光効率を高めて感度向上を図る。【構成】 撮像素子1 のセンサ部12の側周側上部に、入射光をセンサ部12に反射する複数の平面反射鏡21〜24を設けるとともに、各センサ部12間の当該平面反射鏡21〜24どうしを逆V字状に接続したものである。その製造方法は、センサ部12を形成した基板11上に絶縁膜31を形成し、さらにエッチバック膜(図示せず)を形成してからセンサ部12上のエッチバック膜を逆四角すい台状に除去し、続いてエッチバック膜とともにセンサ部12上の絶縁膜31を逆四角すい台状にエッチバックし、その後センサ部12上にリフトオフ用のマスク(図示せず)を形成し、さらに残した絶縁膜31側の全面に反射膜35を形成した後、リフトオフ処理を行って、マスクとともにその表面の反射膜35を除去してセンサ部12を露出する。
請求項（抜粋）：
複数のセンサ部を縦横に配列してなる撮像素子であって、各センサ部の側周側上部に、入射光を当該センサ部に反射する複数の平面反射鏡を設けるとともに、各センサ部間の当該平面反射鏡どうしを逆V字状に接続したことを特徴とする撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G02B 27/00
, H04N 5/335
