特許
J-GLOBAL ID：200903009978088646
真空センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254991
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109568
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、真空装置内の圧力を測定するための真空センサに関し、詳しくは、絶対圧力の値を静電容量の値の変化から検出する真空センサに関し、ガスの広範囲の絶対圧力を1つの装置で測定でき、且つ、簡単な構造で小型化を達成することを目的とする。【構成】 内部の空間を隔てて対向する一対の導電性薄膜からなるダイヤフラム電極をそれらの周縁を基板に固定して配置し、導電性薄膜の面積がそれぞれ異なる上記構造の複数組のダイヤフラム電極を、各ダイヤフラム電極の間の空間を相互に連通させて高真空に封止した状態で基板に電気的に絶縁させて連設する。
請求項（抜粋）：
内部の空間を隔てて対向する一対の導電性薄膜からなるダイヤフラム電極をそれらの周縁を基板に固定して配置し、導電性薄膜の面積がそれぞれ異なる上記構造の複数組のダイヤフラム電極を、各ダイヤフラム電極の間の空間を相互に連通させて高真空に封止した状態で基板に電気的に絶縁させて連設したことを特徴とする真空センサ。
IPC (2件)：
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