特許
J-GLOBAL ID：200903009982424600
半導体複合機能センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249556
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102128
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【構成】同一半導体基板上に差圧検出部,温度検出部及び圧力感度の異なる薄肉部を形成した高圧用,中圧用,低圧用の複数の静圧検出部を有する半導体複合機能センサ。【効果】広い静圧範囲に対応できる高精度複合センサで、差圧の補正のためだけでなく、圧力測定にも従来別に使用していた圧力計が必要なく経済的にも大きな効果がある。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に差圧検出部,温度検出部及び静圧検出部を有する半導体機能センサにおいて、前記静圧検出部が異なる圧力感度の複数の静圧検出部を有することを特徴とする半導体複合機能センサ。
IPC (2件)：
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