特許

J-GLOBAL ID：200903009995555592

透過形電子顕微鏡及び透過電子顕微鏡像観察方法

発明者： 谷口 佳史
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258476
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084938
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 球面収差の影響の無い試料像を実時間観察できる透過形電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 能動型画像処理に用いる重み関数の負の部分を持ち上げ、全てのデフォーカス領域で正になるように重み関数を変更する。重み関数を適用するに当たっては、アンダーフォーカス側からデフォーカスを変化させるようにする。【効果】 画像の引き算が不用となり、TVカメラやSSCCDだけでなく、写真フィルムなど、どんな画像検出手段によっても無球面収差像を撮影できるようになる。試料の高周波成分をまず再現するように処理を行い、時間経過に従って試料の低周波成分が再現されるような処理に移行するため、損傷を受けやすくロードース観察が必要な試料であっても能動型画像処理による無球面収差観察ができるようになる。

請求項（抜粋）：

電子銃と、前記電子銃から射出された電子線を加速する加速電源と、加速された電子線を試料に照射する集束レンズ系と、試料の拡大された電子線像を形成する結像光学系と、前記結像光学系のデフォーカス量Δfを予め定められた重み関数W(Δf)に従って変化させるデフォーカス制御手段とを備え、デフォーカス量がΔfのときの試料の透過電子顕微鏡像をI(g,Δf)とするとき、で表される画像積分を行った処理像J(g)を得る透過形電子顕微鏡において、前記デフォーカス制御手段は、透過形電子顕微鏡の電子線の波長をλ、実効的伝達関数をF(g)、振幅コントラストの伝達関数をcosγ(g,Δf)、位相コントラストの伝達関数をsinγ(g,Δf)、任意の重み関数をE.F.(Δf)として、全てのΔfの範囲で非負である下記の関数Wr′(Δf)又はWi′(Δf)を前記重み関数W(Δf)として用いることを特徴とする透過形電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/153 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26

FI (4件)：

H01J 37/153 A ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/26

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001EA05 ,  2G001EA20 ,  2G001FA09 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA07 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001JA02 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01 ,  2G001KA12 ,  2G001KA20 ,  2G001RA10 ,  2G001RA20 ,  5C033HH05 ,  5C033SS01 ,  5C033SS03 ,  5C033SS04 ,  5C033SS08