特許

J-GLOBAL ID：200903009999715950

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 佐藤 高
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007661
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209412
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 遮光膜の開口幅の最小値が入射光波長と同等かそれ以下である固体撮像素子において、受光素子に入射する光子数の減少を抑制し、感度向上を図る。【解決手段】 半導体基板上に形成した複数の光電変換素子上の少なくとも一部に開口を設けた遮光膜を備えており、前記遮光膜の開口部下端の最小幅が1μm以下で開口端部の形状を開口幅が上端に向かって徐々に広がるテーパとなるよう形成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成した複数の光電変換素子上の少なくとも一部に開口を設けた遮光膜を備えており、前記遮光膜の開口部下端の最小幅が1μm以下で開口端部の形状を開口幅が上端に向かって徐々に広がるテーパとなるよう形成したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 B