電気光学的表示装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-238988
公開番号（公開出願番号）：特開平9-121059
出願日： 1981年06月30日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】周辺駆動回路のレーザーアニール照射をする際にスキャン数を大幅に減少してスループットを向上させる。【解決手段】シリコン薄膜トランジスタ等からなるスイッチング素子及び駆動電極を有する電気光学的表示装置において、周辺駆動回路中の能動素子はシリコン薄膜トランジスタで構成され、アクティブマトリクス回路外周の該ガラス基板上にはデータ線及びゲート線に信号を供給する周辺駆動回路が形成され、周辺駆動回路のうちデータ線駆動回路のレーザーアニールに対してゲート線駆動回路のレーザーアニールを低エネルギー密度照射とする。

請求項（抜粋）：

【講求項1】一対のガラス基板間に液晶が封入されてなり、該ガラス基板上にはマトリクス状に配列されたデータ線とゲート線、該データ線と該ゲート線の各交点にはシリコン薄膜トランジスタからなるスイッチング素子及び駆動電極が配置されてアクティブマトリクス回路部を形成してなる電気光学的表示装置において、該周辺駆動回路中の能動素子はシリコン薄膜トランジスタで構成されてなり、該アクティブマトリクス回路部外周の該ガラス基板上には該データ線及び該ゲート線に信号を提供する周辺駆動回路が形成され、該周辺駆動回路のうちデータ線周辺駆動回路のみがレーザー・アニールされてなることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1345 , G02F 1/136 500 , H01L 21/336

FI (4件)：

H01L 29/78 612 B , G02F 1/1345 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 627 G

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