特許

J-GLOBAL ID：200903010009391461

圧電振動片の製造方法

発明者： 内藤 松太郎 ,  遠藤 秀男
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-331392
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142628
出願日： 2005年11月16日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】圧電振動片の生産性を向上させ、検査時における波形不良による設計変更を無くすことができる圧電振動片の製造方法を提供する。【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片の製造方法は、圧電体ウェハから個片に切り出して圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法において、まず、圧電体結晶から切り出した圧電体ウェハを研磨する。次に、研磨した前記圧電体ウェハの複数箇所における共振周波数を測定する。その後、測定した前記複数の共振周波数に基づいて、前記圧電体ウェハを研磨または/およびエッチングし、前記圧電体ウェハを所定の平行度に、かつ前記周波数測定工程の測定箇所における共振周波数を個片化後の圧電基板に所望する周波数に調整する厚み調整工程と、を有し、個片化後、あるいは励振電極形成後の圧電基板に対して周波数調整を行わないことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電体ウェハから個片に切り出して圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法におい て、 圧電体結晶から切り出した圧電体ウェハを研磨する研磨工程と、 研磨した前記圧電体ウェハの複数箇所における共振周波数を測定する周波数測定工程と 、 測定した前記複数の共振周波数に基づいて、前記圧電体ウェハを研磨または/およびエ ッチングし、前記圧電体ウェハを所定の平行度に、かつ前記周波数測定工程の測定箇所に おける共振周波数を個片化後の圧電基板に所望する周波数に調整する厚み調整工程と、を 有し、 個片化後、あるいは励振電極形成後の圧電基板に対する周波数調整を行わないことを特 徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/04 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18

FI (4件)：

H03H3/04 B ,  H03H3/02 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A

Fターム (8件)：

5J108AA02 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07 ,  5J108NA02 ,  5J108NA04 ,  5J108NB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 血圧調節剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-226832   出願人：横越英彦