特許
J-GLOBAL ID：200903010009890468
ベーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008175
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハの受け渡しの際のメインアームへの負担軽減やスループットの向上、メインアームに対する熱影響の低減、昇温・降温時のウェーハにおける熱分布ムラの低減、温度分布ムラや湿度分布ムラによるウェーハ面の処理不均一性の低減ができるとともに、装置の小型化及び工程の簡素化が可能なベーキング装置を提供する。【解決手段】 装置ケース11内に設置されたホットプレート12によりウェーハWをベーキング処理するベーキング装置において、装置ケース11内に、ウェーハWをクーリング処理するクーリングプレート13を設置した。
請求項（抜粋）：
ケース内に設置されたホットプレートによりウェーハをベーキング処理するベーキング装置において、前記ケース内に、前記ウェーハをクーリング処理するクーリングプレートを設置したことを特徴とするベーキング装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 567
, H01L 21/30 571
