特許

J-GLOBAL ID：200903010011127313

基板乾燥ノズル

発明者： 石田 芳男 ,  井上 義和
出願人/特許権者： シグマメルテック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270574
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090306
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【目的】 一般的なステンレス鋼等の材料を用いて乾燥ムラのない均一な基板乾燥を可能にし、さらに、低圧力で効率よく乾燥を行うことを可能とした基板乾燥ノズルを提供することである。【構成】 気体供給口と第1の緩衝室と気体絞り手段と整流手段を備えた第2の緩衝室とスリット状の噴射口からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

気体を噴射して基板を乾燥するノズルにおいて、気体供給口と第1の緩衝室と気体絞り手段と整流手段を備えた第2の緩衝室とスリット状噴射口からなることを特徴とする基板乾燥ノズル。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 361

FI (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 361 H