特許
J-GLOBAL ID：200903010017669150
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253711
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081755
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 基板全体を堅固に支持するとともに均一に冷却できる基板保持装置を実現する。【構成】 保持盤1は基板W1 の主要部を吸着する吸着面1aを有し、公知のXYステージ駆動機構によって位置決めされる。ハンド2は基板W1 の残りの部分を吸着する吸着面2fを有し、駆動部材2aによって基板W1 を保持盤1の吸着面1aに対向する位置に搬入し、保持盤1のハンド収容溝1dに嵌入される。保持盤1の吸着面1aとハンド2の吸着面2fの双方に吸着された基板は、両者によって堅固に保持され、両者の内部配管を流動する温調流媒によって均一に冷却される。
請求項（抜粋）：
互に合体および分離自在である第1および第2の吸着板を有し、前記第2の吸着板が前記第1の吸着板に向って基板を搬送する搬送手段であり、前記第1の吸着板が、前記第2の吸着板と合体したときにこれとともに前記基板を保持するように構成されていることを特徴とする基板保持装置。
IPC (6件)：
B65G 49/07
, B23Q 3/08
, C23C 14/50
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
