特許

J-GLOBAL ID：200903010020127148

SAWセンサ、SAWセンサを用いた個体識別装置、およびSAWセンサの製造方法

発明者： 伊藤 幸信 ,  久村 達雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332020
公開番号（公開出願番号）：特開2004-129185
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】小型、薄型で、かつ高周波信号伝送時の損失の低減化が図られた高性能なSAWセンサ、各種測定装置および個体識別装置を得る。【解決手段】SAW素子搭載部11とSAW素子駆動信号発生部12とを有するSAWセンサであって、SAW素子搭載部11は、圧電基板1上に櫛形電極よりなるSAW素子2とアンテナ4とを有するものとし、櫛形電極およびアンテナが同一基板上に薄膜形成技術によって同一工程で形成されているSAWセンサを提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

測定対象物の状態変化を弾性表面波の伝搬特性の変化として感知するSAW素子搭載部と、 上記SAW素子搭載部を駆動し、当該SAW素子搭載部から発せられた弾性表面波の伝搬特性の変化を受信するSAW素子駆動信号発生部とを有し、 上記SAW素子搭載部と、上記SAW素子駆動信号発生部とは、無線通信によって信号交換がなされるものであり、 上記SAW素子搭載部は、圧電基板上に櫛形電極よりなるSAW素子とアンテナとを有して成り、上記櫛形電極およびアンテナが、同一基板上に薄膜形成技術によって形成されていることを特徴とするSAWセンサ。

IPC (4件)：

H03H9/145 ,  G01D21/02 ,  G01K7/32 ,  G01N29/18

FI (4件)：

H03H9/145 Z ,  G01D21/02 ,  G01K7/32 S ,  G01N29/18

Fターム (29件)：

2F076BA01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD07 ,  2F076BD11 ,  2F076BD13 ,  2F076BD17 ,  2F076BE01 ,  2F076BE02 ,  2F076BE04 ,  2F076BE12 ,  2F076BE18 ,  2F076BE19 ,  2F077LL10 ,  2F077MM07 ,  2F077MM16 ,  2F077WW08 ,  2G047BC02 ,  2G047GB11 ,  2G047GB21 ,  2G047GF11 ,  2G047GF22 ,  2G047GF26 ,  2G047GG43 ,  5J097AA32 ,  5J097BB01 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10 ,  5J097LL03 ,  5J097LL07