特許
J-GLOBAL ID:200903010029715344

時間領域反射測定信号を処理する方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 敏雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-342104
公開番号(公開出願番号):特開平9-288069
出願日: 1996年12月20日
公開日(公表日): 1997年11月04日
要約:
【要約】【課題】 有効なプロセス変量に対応する出力結果を形成するため時間領域反射測定信号を処理するにあたり、低電力の高周波パルスをプローブに沿って伝送し、それらのパルスを戻すように構成されたセンサ装置の改善された信号処理方法および処理装置を提供する。【解決手段】 プロセス変量により形成された有効な反射パルスを検出するため、少なくとも2つの異なる技術を用いてTDR信号を処理する。これらの異なる技術の各々を用いて独立した結果を算出する。それらの異なる技術からそれぞれ得られた独立した結果に対し重み付け係数を与えて、重み付けられた出力結果を形成する。次に、重み付けられた各出力結果を比較し、この比較に基づき、重み付けられた出力結果から有効な出力結果を選択する。
請求項(抜粋):
有効なプロセス変量に対応する出力結果を形成するために時間領域反射測定(TDR)信号を処理する方法において、プロセス変量により形成された有効な反射パルスを検出するための少なくとも2つの異なる技術を用いてTDR信号を処理し、該少なくとも2つの技術の各々を用いて独立した結果を算出するステップと、前記少なくとも2つの異なる技術の各々から得られた独立した結果に対し重み付け係数を与え、重み付けられた出力結果を形成するステップと、重み付けられた各出力結果を比較するステップと、該比較ステップに基づき、重み付けられた出力結果から有効な出力結果を選択するステップを有することを特徴とする、時間領域反射測定信号を処理する方法。
IPC (3件):
G01N 22/00 ,  G01F 23/00 ,  G01F 23/28
FI (3件):
G01N 22/00 S ,  G01F 23/00 A ,  G01F 23/28 S

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