特許

J-GLOBAL ID：200903010031040010

マイクロメカニカル式の構成エレメント

発明者： シュテファン ピンター
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-568095
公開番号（公開出願番号）：特表2003-527247
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：

【要約】本発明は、マイクロメカニカル式の構成エレメント特に加速度センサであって、基板(4)上で質量体(3)をばね弾性的に支承するためのたわみばね装置(F1,F2,F3)を有しており、該たわみばね装置(F1,F2,F3)が一方では質量体(3)に接続されていて、他方では基板(4)に固定されている形式のものに関する。たわみばね装置(F1,F2,F3)が少なくとも1つのたわみばね部材(F2,F3)を有しており、たわみばね装置(F1,F2,F3)の有効なばね定数を変化させるために、前記たわみばね部材の、基板(4)に対する可動性が可変である。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカル式の構成エレメント特に加速度センサであって、基板(4)上で質量体(3)をばね弾性的に支承するためのたわみばね装置(F1,F2,F3)を有しており、該たわみばね装置(F1,F2,F3)が一方では質量体(3)に接続されていて、他方では基板(4)に固定されている形式のものにおいて、 たわみばね装置(F1,F2,F3)が少なくとも1つのたわみばね部材(F2,F3)を有しており、たわみばね装置(F1,F2,F3)の有効ばね定数を変化させるために、前記たわみばね部材の、基板(4)に対する可動性が可変であることを特徴とする、マイクロメカニカル式の構成エレメント。

IPC (2件)：

B81B 3/00 ,  G01P 15/125

FI (2件)：

B81B 3/00 ,  G01P 15/125 Z