特許

J-GLOBAL ID：200903010034884375

微小凹部付きガラス基板およびその製造方法

発明者： 松田 厚範 ,  森尾 健二 ,  岸本 隆 ,  浜中 賢二郎
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111639
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220306
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 エッチング法によって形成され1次元または2次元に配列された微小凹部の輪郭形状が円形である平板型マイクロレンズ用のガラス基板を、また微小凹部の断面が円弧から形成される平板型マイクロレンズ用のガラス基板を提供するものである。【構成】 エッチング法によってガラス基板に微小凹部を形成する際、研磨工程での潜傷の顕在化によって不均一なエッチングが発生する。そこで、ガラス基板の表面粗さを厳密に中心線平均粗さRaで0.4nm以下に制御することで、前記微小凹部を平面視したときの輪郭が真円とすることができる。

請求項（抜粋）：

表面の中心線平均粗さRaが0.4nm以下のガラス基板表面に、エッチング法によって形成された微小凹部が多数個1次元または2次元に規則配列された平板マイクロレンズ用ガラス基板であって、前記の微小凹部を平面視したときの輪郭形状がほぼ円形であり、前記輪郭形状の長径と短径の比が、1.1以下であることを特徴とする微小凹部付きガラス基板。ただし、輪郭形状の最も長い径を長径と、最も短い径を短径とする。

IPC (5件)：

G02B 3/00 ,  C03C 15/00 ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335

FI (5件)：

G02B 3/00 A ,  C03C 15/00 D ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335