特許
J-GLOBAL ID：200903010034919578
粒子検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055692
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 真空室で使用するガスの種類やプロセス温度に関係なく、安定して粒子の計測を行うことができ、半導体製造装置への設置およびそのメインテナンスを容易にした粒子検出装置を提供する。【構成】 レーザ光線透過用窓5,6 と散乱光取出し用窓10とを有する小型の検出用真空室4と、検出用真空室の外側の大気環境下に設けられ、レーザ光線透過用窓を通して真空室内にレーザ光線2を与えるレーザダイオード1と、真空室内で発生した散乱光9を散乱光取出し用窓を通して取り込んで検出するフォトセンサ12とを含む粒子検出器14とを備える。検出用真空室4は真空室に対して取付けおよび取外しを自在に行える構造とする。粒子検出器14は単独ユニットとして形成され、検出用真空室の外側からこの検出用真空室に取り付けられ、粒子検出器は検出用真空室に対して取付けおよび取外しを自在に行える構造とする。
請求項（抜粋）：
処理が行われる真空室で発生する微粒子の数と大きさを検出する粒子検出装置において、前記真空室を形成する壁部の外側にその内部空間が前記真空室と通じた状態で取り付けられ、レーザ光線透過用窓と散乱光取出し用窓とを有する検出用真空室と、前記検出用真空室の外側の大気環境下に設けられ、前記レーザ光線透過用窓を通して前記検出用真空室内にレーザ光線を与える発光手段と、前記検出用真空室内で発生した散乱光を前記散乱光取出し用窓を通して検出する受光手段とを含む粒子検出器と、を備えることを特徴とする粒子検出装置。
引用特許：
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