表面被覆硬質部材及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-012828
公開番号（公開出願番号）：特開平6-220608
出願日： 1993年01月28日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【目的】優れた耐摩耗性と靭性を兼ね備えた表面被覆硬質部材を提供する。これは切削工具、耐摩工具用としての適性が極めて高いものである。【構成】 WC基超硬合金、サーメット、セラミックスなどから成る母材の表面にIVa族、Va族、VIa族金属元素及びAl、Siから選んだ2種以上の元素から成る合金の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物又はホウ化物の被膜を物理的蒸着法で設ける。この被膜を50nm以下の粒子径で構成される膜としたので耐摩耗性が著しく向上し、靭性も高まる。

請求項（抜粋）：

WC基超硬合金、サーメット、セラミックス、高速度鋼等から成る母材の表面に、IVa、Va、VIa族金属元素およびAl、Siから選んだ2種類以上の元素からなる合金の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物又はホウ化物を物理的蒸着法により50nm以下の粒子径で構成した被膜を持つことを特徴とする表面被覆硬質部材。

IPC (2件)：

C23C 14/06 , C04B 41/87

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭60-234961
特開平3-180464
特開平4-021760

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