特許

J-GLOBAL ID：200903010044883148

磁気ディスク用バニッシュ装置とグライド検査方法

発明者： 米川 隆生 ,  正田 光広 ,  山口 伸弥
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101347
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293923
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】平滑面ディスクでは、接線力が高いためにディスク表面のクリーニングやバニッシュを行なうと円板表面にスクラッチや突起を形成してしまう問題が生じた。【解決手段】潤滑材を含有する加工液に磁気ディスクの一部を侵漬させながら回転させ、磁気ディスク面の突起を研削するためのバニッシュヘッドを潤滑液膜により所定の高さで浮上させながら磁気ディスクの表面をバニッシュする。バニッシュヘッドには熱センサが組み込まれ、バニッシュを行いながら浮上検査が可能であり、突起を検出すると選択的にバニッシュが可能となる。この様にすることで、円板表面に傷を付ける事なく、突起や付着物に対して高い除去効果が得られる装置である。

請求項（抜粋）：

回転する磁気ディスク表面に加工液膜を形成する手段と、磁気ディスク面の突起を除去するためのバニッシュヘッドと、当該バニッシュヘッドを磁気ディスク面上で移動させる手段からなり、加工液膜によりバニッシュヘッドが磁気ディスク表面から所定の高さで浮上しながら磁気ディスクの突起除去を行うバニッシュ装置。