特許
J-GLOBAL ID：200903010053158693
近接場走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175562
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043059
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 NFMの光プローブの開口面を試料表面に対し、確実に平行にすること。【構成】 試料sの表面は、水平になっていると仮定する。エバネッセント光を発する光プローブ6は、架台1に保持されている。架台1の光プローブ6の開口面60と平行な基準面15の傾きを、角度検出器5によって検出する。該検出結果に従って、モータ31を作動させて可動軸足32の長さを調整することで、架台1の傾きを水平にする。これにより、光プローブ6の開口面60を、試料sの表面に対して平行にできる。
請求項（抜粋）：
試料を保持するサンプルホルダと、開口部を備え、該開口部に形成されるエバネッセント光を前記サンプルホルダに保持された試料に当てるプローブと、前記プローブを前記試料に対して走査させるスキャナ手段と、前記エバネッセント光の前記試料表面での散乱光を検出する光検出器と、前記開口部の開口面の傾斜角度を検出する角度検出手段と、前記開口面の前記試料表面に対する角度を変更可能な状態で、前記プローブを保持した保持機構と、を有することを特徴とする近接場走査型顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 11/30 102
, G01N 21/47
, G02B 21/00
