特許

J-GLOBAL ID：200903010062049325

液面コントローラ及び処理装置

発明者： 上田 庸一 ,  小美野 光明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-032793
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221897
出願日： 1993年01月28日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウエハを処理する電極を冷却する液化窒素等の冷媒を常に安定的に供給できる処理装置を提供する。【構成】 本処理装置は、半導体ウエハWを処理する下部電極2を冷却する液化窒素Lの液量を制御する液面コントローラ9を有し、この液面コントローラ9は、上記下部電極2内の液面の上限位置及び下限位置に配設され且つ外部との屈折率の差に応じて入射光を透過しあるいは反射する第1、第2プリズム91、92と、これら両者に光ファイバー93、94を介して光を発光する発光ダイオード95と、この発光ダイオード95からの光を各プリズム91、92からの反射光として光ファイバー96、97を介して受光して制御信号を送信する第1、第2光センサ98、99とを備え、且つ第2光センサ99の制御信号により電磁弁41を開放して液化窒素Lを供給し、また、上記第1光センサ98の制御信号により電磁弁41を閉止するようにした。

請求項（抜粋）：

容器内に貯留された液体の液面を上下の2箇所で検出して所定量の液量に制御する液面コントローラであって、上記容器内の液面の上限位置及び下限位置にそれぞれ配設され且つ外部との屈折率の差に応じて入射光を透過あるいは反射する第1、第2光学素子と、各光学素子に光伝送路を介して光を発光する発光素子と、この発光素子からの光を第1、第2光学素子からの反射光として光伝送路を介してそれぞれ受光して制御信号を送信する第1、第2受光素子とを備え、且つ上記第2受光素子の制御信号により液体供給手段を駆動させ、また、上記第1受光素子の制御信号により上記液体供給手段を停止させることを特徴とする液面コントローラ。

IPC (3件)：

G01F 23/28 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306