特許

J-GLOBAL ID：200903010067219512

被処理面の光学的な被処理領域検出兼処理装置

発明者： 佐藤 悦郎 ,  早坂 和寛
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047879
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235309
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】被処理領域の光学的検出と処理装置の位置決めとを同時に行い得る光学的な被処理領域検出兼処理装置を提供する。【解決手段】処理器本体(11)に、前記被処理面に投光する投光口(17a) 及び同投光口(17a) からの反射光を受光する受光口(17b) を有する被処理領域検出器(15)を一体に取り付けている。その取付けは、前記処理器本体(11)の光軸(L1)と投射光及び反射光とが一点で交差するようにする。その結果、被処理領域の検出と処理器本体の位置決めとが同時になされる。

請求項（抜粋）：

被処理領域を光学的に検出すると共に、その被処理面に関する各種の処理を行う装置であって、処理器本体と、同処理器本体に一体に取り付けられ、前記被処理面に投光する投光口及び同被処理面からの反射光を受光する受光口を有する被処理領域検出器とを備え、前記処理器本体の光軸と前記投射光及び反射光とが一点で交差するように配されてなり、被処理面の検出と処理器本体の位置決めとが同時になされることを特徴とする被処理面の光学的な被処理領域検出兼処理装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 F

Fターム (18件)：

2F065AA06 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF44 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065MM01 ,  2F065PP22 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031JA04 ,  5F031JA35 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031PA18