特許

J-GLOBAL ID：200903010067758669

振動性のある半導体薄膜の測定時における外部刺激からの遮蔽方法

発明者： スタッヒ,ゲルト ,  シュトゥルック,トーマス
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムズ セミコンダクター ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 加藤 朝道 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-523921
公開番号（公開出願番号）：特表2003-509859
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：

【要約】本発明は、振動性のある好ましい形状の薄膜(4)を、気体の流れおよび/または音響的な刺激にさらされた環境で光学的に測定する方法に関するものであり、この環境では薄膜測定装置は薄膜に焦点を整合している。本発明は、光学的に透明な薄片を用意し、気体の流れおよび/または音響的な刺激が薄片を透過してしか薄膜に届かないように、薄片(5)および薄膜を配置することを特徴とする。薄片によって、外部の空気の動きおよび薄膜の振動が減衰される。従って薄膜を正確に測定することが可能となる。

請求項（抜粋）：

振動性のある好ましい形状の薄膜(4)を、気体の流れおよび/または音響的な刺激にさらされ、薄膜測定装置の焦点が上記薄膜に整合されている環境で、光学的に測定するための方法であって、 光学的に透明な薄片(5)を用意し、上記気体の流れおよび/または音響的な刺激が上記薄片を透過してしか上記薄膜に届かないように、上記薄片および上記薄膜を配置することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/16

FI (2件)：

G03F 1/16 F ,  H01L 21/30 541 S

Fターム (3件)：

2H095BA10 ,  2H095BD02 ,  5F056FA10