特許

J-GLOBAL ID：200903010085446666

カラーフィルターを有する基板の製造方法及びカラーフィルターを有する基板

発明者： 野村 裕司 ,  浪川 衛 ,  田中 哲 ,  内藤 康之
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092354
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282330
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】陽極基板の表面に、該表面との間に段差のない無機カラーフィルターを作製する。【解決手段】 1) 〜5) フォトリソグラフィ法によりガラス基板1のレジスト2を所定パターンに加工し、エッチングにより溝4を形成する。6) ガラス基板1の表面に無機のブルーフィルターペーストBを塗膜し、焼成する。 7) ガラス基板1を研磨し、溝4からはみ出しているブルーフィルターBを研磨で取り除く。8) レッドフィルターR、グリーンフィルターGも同様の工程で形成する。 9)平滑層5を形成する。 10)〜14) フォトリソグラフィ法により透明導電膜6を形成する。基板の溝に無機カラーフィルターを埋め込んだ構造の基板を製造できる。カラーフィルターの膜厚が厚くなっても、基板に形成する溝の深さを変えることによりカラーフィルターの膜厚が相殺され、平坦なフィルター付き基板を安定して得ることができる。

請求項（抜粋）：

透光性の基板に溝を形成し、前記溝にカラーフィルターを設けることを特徴とするカラーフィルターを有する基板の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  H01J 11/02 ,  H01J 31/15

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  H01J 11/02 B ,  H01J 31/15 F