特許
J-GLOBAL ID：200903010086086060
ペロブスカイト皮膜の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-241138
公開番号（公開出願番号）：特開平5-200277
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 ABO3の一般化学式を有するペロブスカイト皮膜を基板上に作製する方法を提供する。【構成】 本発明の方法は、アルコキシドと有機塩を使用してAとBを含んだ組成のゾル-ゲル溶液を調製する工程、及びこのゾル-ゲル溶液を基板上に薄膜として付着させる工程を含む。この皮膜は、エキシマーレーザーからのエネルギーで照射することによってペロブスカイト皮膜に転化される。このような集成体を使用することによって、極めて速やかな結晶化が起こる。これにより、基板の加熱及び金属導体の酸化が少なくなる。
請求項（抜粋）：
物質の層を結晶化させて、ペロブスカイト結晶構造を有する物質を作製する方法であって、前記物質の層をコヒーレントエネルギーで照射して前記皮膜を速やかに加熱し、これによって前記皮膜をペロブスカイト結晶質物質に転化させる工程を含む前記方法。
IPC (4件)：
B01J 19/12
, C04B 35/49
, H01B 3/00
, H01B 3/12 301
