特許

J-GLOBAL ID：200903010088270151

基板処理装置およびそれに用いられる処理槽

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-287826
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141526
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 基板洗浄後にパーティクルが基板に再付着するのを防止して、減圧チャンバの内容積を大幅に低減し得る基板処理装置と処理槽を提供する。【構成】 純水で基板3を洗浄した後、処理槽1内の排水を行う場合、処理槽1の底部から純水を供給しつつ、外板101から純水を排出する。ここで、処理槽内は、仕切り板112によって仕切られ、これらの間の空間の純水は、仕切り板の内側の空間の純水よりも速く排出される。その結果、前者の空間の液面レベルと後者のそれとの間で段差が生じ、後者の表面の純水は透孔112aを介して、外に流れ落ちて液面がオーバーフローしながら低下していくので純水の表面に浮遊するパーティクルが溢れて排出され、基板の表面にパーティクルが再付着しない。又基板を処理槽内で停止させたままで排水が行えるので、チャンバ内に基板の引き上げスペースを設ける必要が無くなり、チャンバの内容積を低減できる。

請求項（抜粋）：

同一チャンバ内において、少なくとも基板の洗浄処理と乾燥処理とを行う基板処理装置であって、前記チャンバ内には、複数の前記基板が所定の間隔を開けて配列される処理槽が収納されており、前記処理槽は、外壁を規定する外板と、前記外板の内側に所定の間隔を開けて設けられ、かつその表面に複数の透孔が形成された仕切り板と、底部に接続された液体注入管と、前記外板に接続された液体排出管とを含み、前記基板の洗浄終了後に行われる排水工程において、前記液体注入管から前記処理槽内に純水を連続して供給し、かつ前記液体排出管から前記処理槽に貯まった純水を連続して排出することを特徴とする、基板処理装置。

IPC (5件)：

B08B 3/10 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/306