特許

J-GLOBAL ID：200903010088376235

ウェハ位置決め装置

発明者： 石島 達之 ,  佐藤 正行 ,  小林 清
出願人/特許権者： セイコー精機株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329526
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145259
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 ウェハのダメージの軽減、ウェハの位置決め精度の向上、およびウェハの位置決め時間の短縮化が図れるウェハ位置決め装置の提供。【解決手段】 ウェハaを載置させたステージ15を回転させる。レーザ変位センサ17は、回転するウェハaの周面に対してレーザ光を照射させ、その周面から反射するレーザ光を受ける。制御装置は、この受光量に応じた信号に基づいて、ウェハaのオリエンテーションフラットa1の位置と、ウェハaの中心とステージ15の回転中心とのずれを求める。その求めたオリエンテーションフラットa1の位置を、ステージ15の回転によりX軸方向に位置決めする。さらに、X軸駆動モータ7やY軸駆動モータ13を駆動してステージ15を移動させ、ウェハaの中心を目標位置に位置決めし、この位置決めの際に、その求めたずれにより補正する。

請求項（抜粋）：

ウェハを載置させるステージと、このステージを回転する回転手段と、この回転手段で回転される前記ステージ上のウェハの周面に対して光を照射させ、その周面から反射する光を受け、この受光量に応じた信号に基づいて、前記ウェハに設けた基準用の切欠きの位置と、前記ウェハの中心と前記ステージの回転中心とのずれとの、少なくとも一方を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果に基づいて、前記ウェハの位置決めを行う位置決め手段と、を具備することを特徴とするウェハ位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 1/28 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

H01L 21/68 M ,  B23Q 1/28 ,  G01B 11/00 A