特許

J-GLOBAL ID：200903010090454200

接液部材

発明者： 大竹 雅弘 ,  梅田 優 ,  富岡 秀起 ,  新田 雄久
出願人/特許権者： 株式会社渡邊商行 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-089502
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288248
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、不純物の溶出が極めて少なく洗浄液、被洗浄物を汚染することのない接液部材であって、種々の薬液に対し耐食性が高くしかも機械的強度の大きな接液部材を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも液体と接する表面が炭化珪素からなることを特徴とする。また、前記炭化珪素は、気相成長法で形成した炭化珪素膜であることを特徴とする

請求項（抜粋）：

少なくとも液体と接する表面が炭化珪素からなることを特徴とする接液部材。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/68 T