特許

J-GLOBAL ID：200903010091677912

光偏向器及び映像表示装置

発明者： 奥村 実紀雄
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275550
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 映像表示装置などの光偏向器において、大きな偏向角度を得るとともに、高速で入射光を偏向できるようにし、しかも、信頼性を高める。【解決手段】 支持梁部12a,12b,13a,13bを重心Gを通過する仮想線IL1に対して平行かつ線対称となる位置に配し、この支持梁部12a,12b,13a,13bのそれぞれの梁に対応する位置にレーザ発光素子X1,X2,X3,X4を設け、このレーザ発光素子X1,X2,X3,X4に対して仮想線IL1により分割される支持梁部(12a,13a)と支持梁部(12b,13b)との組み合わせ毎に交互にレーザ光を照射するように駆動する。また、可動ミラー部14のサイズ及び支持梁部12a,12b,13a,13bの位置関係を最適化するとともに、固有振動数で駆動することにより、より大きな偏向角を得るとともに、高速化を可能とする。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハにより形成され、外周支持部より延設された一対の支持梁部により一端及び他端が支持される可動ミラー部を有し、前記可動ミラー部を変位させることにより入射光を偏向させる光偏向器において、前記可動ミラー部を支持するための支持梁部を可動ミラー部の重心を通過する第1の仮想線に平行かつ線対称となるように分割配置し、かつ、前記支持梁部に応じた位置にレーザ発光素子を設け、前記レーザ発光素子のレーザ光を前記第1の仮想線により分割される前記支持梁部の梁の組み合わせ毎に交互に照射し、照射したレーザ光のエネルギーにより生じる熱応力による微小変化を利用して前記可動ミラー部を傾斜駆動するように構成したことを特徴とする光偏向器。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  G02B 26/10 101

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 101

Fターム (8件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC07 ,  2H045AB00 ,  2H045AB13 ,  2H045BA12 ,  2H045DA02 ,  2H045DA04