特許
J-GLOBAL ID：200903010096485671
アークイオンプレーティング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096166
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073538
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】 交換・表面清掃等のためにカソードとワークを真空チャンバーに出し入れする作業を容易に行うことができるアークイオンプレーティング装置を提供する。【構成】 真空容器20の真空チャンバー20A 内でアノード33とカソード27との間にアークを発生させて前記カソード27を蒸発させ、ワーク32に前記カソード27の構成成分又はその化合物をコーティングするアークイオンプレーティング装置であって、前記真空チャンバー20A の開口部21を開閉するドアー23を設け、この開口部21を経て真空チャンバー20A に出し入れ自在な移動台車25を設け、該移動台車25上にカソード27とワーク32とを設ける。
請求項（抜粋）：
真空容器の真空チャンバー内でアノードとカソードとの間にアークを発生させて前記カソードを蒸発させ、ワークに前記カソードの構成成分又はその化合物をコーティングするアークイオンプレーティング装置であって、前記真空チャンバーの開口部を開閉するドアーを設け、この開口部を経て真空チャンバーに出し入れ自在な移動台車を設け、該移動台車上にカソードとワークとを設けたことを特徴とするアークイオンプレーティング装置。
IPC (3件)：
C23C 14/32
, H01J 27/08
, H01J 37/34
