マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-301663
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321198
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】ねじれ方向に十分なコンプライアンスを確保しながら、ねじれの軸に垂直な方向には剛性の高いマイクロ構造体である。【解決手段】マイクロ構造体は、基板120と、少なくとも一つ以上の揺動体130を有し、揺動体130が複数のトーションバー122〜125から成る一組以上のトーションスプリング128、129によって基板120に対して弾性的に揺動自由に支持されている。一組のトーションスプリング128、129は、互いに長軸が平行であるように並列的に近接して配置され、長軸に垂直な面の断面形状が扁平であり、最も撓みやすい方向が交差するように配置された少なくとも2つのトーションバー122〜125を含む。

請求項（抜粋）：

基板と、少なくとも一つ以上の揺動体を有し、前記揺動体が複数のトーションバーから成る一組以上のトーションスプリングによって前記基板に対して弾性的に揺動自由に支持されているマイクロ構造体において、一組のトーションスプリングは、互いに長軸が平行であるように並列的に近接して配置され、該長軸に垂直な面の断面形状が扁平であり、最も撓みやすい方向が交差するように配置された少なくとも2つのトーションバーを含むことを特徴とするマイクロ構造体。

IPC (7件)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , G01P 15/125 , G02B 5/08 , G02B 5/18 , G02B 26/08 , G02B 26/10 104

FI (7件)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , G01P 15/125 , G02B 5/08 Z , G02B 5/18 , G02B 26/08 E , G02B 26/10 104 Z

Fターム (19件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC05 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08 , 2H042DA12 , 2H042DA19 , 2H042DB08 , 2H042DE00 , 2H045AB16 , 2H045AB22 , 2H045AB73 , 2H049AA06 , 2H049AA12 , 2H049AA44 , 2H049AA60 , 2H049AA62

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