特許
J-GLOBAL ID：200903010113654237
水素センサ、発電装置及び電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-167354
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333625
出願日： 2006年06月16日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】高濃度の水素雰囲気下において、水素化金属膜と水素選択透過膜との間での原子の相互拡散を防止でき、水素化金属の水素選択透過膜表面への析出を抑制することができる水素センサ、発電装置及び電子機器を提供する。【解決手段】水素化金属膜2の電気抵抗率を測定することにより水素濃度を検出する水素センサ100は、組成中の水素含有量に応じて抵抗率が変化する材料により成膜された水素化金属膜2と、水素化金属膜2上に成膜されて水素を透過する水素選択透過膜4と、水素化金属膜2と水素選択透過膜4との間に、水素化金属膜2と水素選択透過膜4との間での原子の相互拡散を防止する拡散防止膜3を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
組成中の水素含有量に応じて電気特性値が変化する材料により成膜された水素化金属膜と、前記水素化金属膜上に成膜されて水素を透過する水素選択透過膜と、を備えるとともに、前記水素化金属膜と前記水素選択透過膜との間に、前記水素化金属膜と前記水素選択透過膜との原子の相互拡散を防止する拡散防止膜を備え、前記水素化金属膜の電気特性値を測定することにより水素濃度を検出することを特徴とする水素センサ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N27/12 B
, G01N27/12 C
2G046AA05
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BC05
, 2G046BE03
, 2G046DC13
, 2G046EB01
, 2G046FB00
, 2G046FE03
, 2G046FE13
, 2G046FE18
, 2G046FE29
, 2G046FE38
, 2G046FE41
, 2G046FE47
, 5H027AA02
, 5H027BA01
, 5H027BA09
, 5H027BA17
, 5H027KK31
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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引用文献：
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