特許
J-GLOBAL ID：200903010120608569
マイクロアクチュエータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-243828
公開番号（公開出願番号）：特開2002-137200
出願日： 2001年08月10日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：
【要約】【課題】 上下方向の運動が可能なステージを備え、かつ製作が容易なマイクロアクチュエータ及びその製品歩留まりを向上させた製造方法を提供する。【解決手段】 ステージ3の底部に多数平行に駆動くし形電極32を形成し、基板1の上部には駆動くし形電極32に対応する固定くし形電極34を複数、平行に配置し、ステージ3の両側にはステージ3の上下運動を支持するトーションバー31を設ける。そして、トーションバー31を第1フレーム層21及び第2フレーム層22を備えるフレーム2に支持させると共に、トーションバー31を第1フレーム層21と一体的に形成し、第1フレーム層21と第2フレーム層22とを金属層間の共晶組織からなる金属共晶接合層23bによって互いに接合させて構成する。
請求項（抜粋）：
所定パターンの配線層が形成された基板と、前記基板上に固定され、この基板面に対して垂直方向にくし状に延びる複数の固定くし形電極と、前記基板の上方の所定高さに形成され、上下方向の運動が可能に構成されたステージと、前記ステージの底部に平行に配列して形成され、各先端部が前記固定くし形電極の間にくし状に延びる複数の駆動くし形電極と、前記ステージの上下方向の運動を支持するように、前記ステージの両側部にステージと一体的に形成された所定長さのトーションバーと、前記トーションバーの両端部に連結された第1フレーム層と、前記第1フレーム層の下部に配置され、第1フレーム層と共に積層構造のフレームを形成する第2フレーム層と、前記第1フレーム層と第2フレーム層との間に介在し、前記第1フレーム層と第2フレーム層とを共に接合するための共晶組織からなる金属共晶接合層と、を備えて構成されたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, H02N 1/00
B81B 3/00
, B81C 1/00
, H02N 1/00
