特許

J-GLOBAL ID：200903010121597200

真空ポンプを備えたプローブガス検出器ならびにこのようなプローブガス検出器を運転する方法

発明者： フォス,ギュンター ,  ショロート,アンノ
出願人/特許権者： ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-506172
公開番号（公開出願番号）：特表平9-501236
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】本発明は、特に漏れ検査器具に用いられるプローブガス検出器(1)であって、ガス入口(2)と、真空ポンプ(3,6)と、プローブガスの存在を記録するプローブガス記録器具(4)とが設けられている形式のものに関する。真空の形成にかかる手間を低減させるために本発明の構成では、真空ポンプが吸着ポンプ(3)である(第1図)。

請求項（抜粋）：

特に漏れ検査器具に用いられるプローブガス検出器(1)であって、ガス入口(2)と、真空ポンプ(3,6)と、プローブガスの存在を記録するプローブガス記録器具(4)とが設けられている形式のものにおいて、真空ポンプが吸着ポンプ(3)であることを特徴とする、真空ポンプを備えたプローブガス検出器。